تقنیة توضع الطبقات الرقیقة بواسطة الرش المھبطي
No Thumbnail Available
Date
2014
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
university of eloued جامعة الوادي
Abstract
تعتمد الخواص الفیزیائیة و الكیمیائیة للمواد بشكل عام على بنیتھا البلوریة وتراكیبھا الكیمیائیة التي تعتمد
بدورھا على شروط تحضیرھا ، ویمكن أن نرى ذلك جلیا في الطبقات الرقیقة بسبب خواصھا الممیزة التي
جعلتھا واحدة من أھم التقنیات التي ساھمت في تطویر عدة مجالات صناعیة . یتم عموما توضع ھذه الطبقات
وطریقة التوضع (الترسیب) الفیزیائي (CVD) بطریقتین ھما : طریقة التوضع (الترسیب) الكیمیائي
حیث تندرج ضمن ھذه الأخیرة تقنیة فعالة لتوضع الشرائح الرقیقة تتمثل في الرش المھبطي والتي (PVD)
یعتمد المبدأ الأساسي لھذه التقنیة على اقتلاع ذرات مادة الھدف عن طریق تحویل كمیة الحركة ، تتم ھذه
الظاھرة بواسطة أیونات طاقیة ناتجة عن تفریغ متوھج لغاز (البلازما) أو خلیط غازي مشكلة طبقة رقیقة
على المسند تسمى بالأغشیة الرقیقة .
Description
مذكرة ليسانس فيزياء