Structural and opto-electrical study of SnO2 thin films elaborated by spray pyrolysis (home made)

Abstract

Dans ce travail, nous avons élaboré des couches minces de à partir d’une source de dissoute dans du Méthanol avec différents pourcentage de dopage en Antimoine (Sb) utilisant comme source de dopant (SbCl3). L’objet de ce travail est d’étudier l'influence de ce dopage sur les caractéristiques optiques, structurelles et électrique du SnO2. Ces couches sont élaborées par la technique de spray pyrolysis sur des substrats en verre chauffés à une température donnée (4800C). La caractérisation structurale des couches par analyse de diffraction des rayons X a montré que les couches sont de structure quadrique rutile. avec une orientation préférentielle (211) qui est de faible énergie de croissance. La caractérisation optique des films a été réalisée à l’aide spectrométrie UV- Visible dans la gamme spectrale allant de 300 à 900 nm, et elle a montré que les films sont transparents avec une valeur moyenne de la transmittance de l’ordre de 85 % dans le visible, ainsi, cette technique nous a permis de déterminer les épaisseurs des couches élaborées, la variation de l'énergie du gap optique E en fonction du dopage en : est de 3.65 à 3.92 eV, La technique de quatre points a montré que les couches de ont une résistance carré allant de 31.07 à 806 (Ω.cm-2).